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      康柏工業(yè)陶瓷有限公司

      136-9226-4978
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      產(chǎn)品中心Product Center

      半導(dǎo)體氧化鋁陶瓷件類別:半導(dǎo)體陶瓷件

      簡介:半導(dǎo)體制造設(shè)備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設(shè)備部件、晶圓夾盤);粉碎機部件(分級機、氣流式粉碎機、珠磨機);一般產(chǎn)業(yè)用部件(激光加工機噴嘴、轉(zhuǎn)軸、軸承);高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具);耐磨耗部件(拉絲機導(dǎo)向輥、鋼絲通道、導(dǎo)軌);電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)。

      產(chǎn)品介紹

      氧化鋁(Al2O3)是精密陶瓷中常用的材料。我司供應(yīng)純度為99.5%和99.9%的產(chǎn)品。


      氧化鋁(Al2O3)主要用途

      半導(dǎo)體制造設(shè)備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設(shè)備部件、晶圓夾盤);粉碎機部件(分級機、氣流式粉碎機、珠磨機);一般產(chǎn)業(yè)用部件(激光加工機噴嘴、轉(zhuǎn)軸、軸承);高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具);耐磨耗部件(拉絲機導(dǎo)向輥、鋼絲通道、導(dǎo)軌);電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)。


      特點
      ○ 氧化鋁是白色或乳白色的陶瓷,利用其優(yōu)異的電絕緣性能,早期開始即應(yīng)用在電子部品上,使用量較多,是精密陶瓷中成本很低的材質(zhì)。

      ○ 我司供應(yīng)純度為99.5%和99.9%的高純度產(chǎn)品。高純度類型氧化鋁的機械強度高、耐腐蝕性優(yōu)異,可生產(chǎn)大型產(chǎn)品。

      ○ 此外,由于其具有優(yōu)異的耐等離子特性,也可用于CVD設(shè)備或蝕刻設(shè)備的部件。



      型號

      特點

      密度

      楊氏彈性模量

      彎曲強度

      斷裂韌性

      熱膨脹系數(shù)

      熱傳導(dǎo)率

      體積電阻



      [g/cm3]

      [GPa]

      [MPa]

      [MPa?m1/2]

      [×10-6/K]

      [W/m?K]

      [Ω?cm]

      氧化鋁99.5%

      用途廣泛高剛性

      3.9

      370

      440

      3~4

      6.3

      33

      >1014

      氧化鋁99.9%

      高純度高剛性

      3.9

      370

      450

      3~4

      6.3

      30

      >1014


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